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一种两级微桥结构快速测温微型传感器的研制
设计了一种新型薄膜热电阻温度传感器.传感器感温结构由基片(Si)/绝缘层(SiO2)/感温部(Pt)组成,Pt薄膜片以悬空的微桥连接方式搭接在SiO2......
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