微机电系统谐振器相关论文
近年来，MEMS谐振器由于极小尺寸、高Q值以及CMOS兼容性好等方面的优势而被广泛研究用于频率基准源。MEMS谐振器应用于频率基准源时......
为克服既有原子力显微镜(AFM)悬臂式探针的谐振频率难以超过3.5 MHz,Q值低、成像速度低及在液体中成像效果欠佳等缺点,设计并制作......
方块谐振器的品质因数（Q）很高，但是插入损耗也很大。为了得到低相噪的微机电系统（MEMS）振荡器，需要进一步提高方块谐振器的 Q值，降低谐振......
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