微掩膜相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

微掩膜相关论文

采用CHF3和O2等离子体刻蚀PI的各向异性研究

研究了一种有效刻蚀聚酰亚胺(PI)的干法刻蚀方法,以金属铬为掩膜,刻蚀经涂胶并亚胺化而得到具有一定厚度的PI薄膜。利用反应离子刻......

期刊

聚酰亚胺(PI) 各向异性微掩膜深宽比钝化膜

ICP刻蚀4H-SiC栅槽工艺研究

为避免金属掩膜易引起的微掩膜,本文采用SiO2介质作为掩膜,SF6/O2/Ar作为刻蚀气体,利用感应耦合等离子体刻蚀(ICP)技术对4H-SiC tr......

期刊

微掩膜感应耦合等离子体碳化硅栅槽微沟槽效应

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