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本文研制了一套可应用于MEMS器件的微尺度测量系统,可以在受载状态下实时检测MEMS器件的面内位移、离面位移和三维形貌，给出了几个......
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研制了一套可应用于MEMS器件的微尺度测量系统，可以在受载状态下实时检测MEMS器件的面内位移、离面位移和三维形貌。该系统中，面内位......
随着现代加工工业及精密制造业的快速发展,高端仪器设备制造领域对于具有微尺细结构的新型微器件需求广泛,而现有检测技术手段无法......
