随着MEMS(Micro Electro Mechanical System,即微电子机械系统)技术的发展,电容式MEMS传感器具有结构简单、分辨率高等优点,它广泛......

给出了一种新的用于微小电容检测的接口电路 .在电荷传送电路的基础上 ,引入了一个用于参考微变电容读出的电荷传送电路部分 ,将检......

针对目前的小电容测量电路采样频率低，不能满足瞬态变化的膛压信号测量要求，提出一种基于充放电原理的小电容检测电路。该电路以基于......

通过对接触式电容压力传感器的改进,提出了一种基于MEMS技术的微变电容模型.为确定外加驱动电压与由此所引起的电容变化之间的非线......