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微加热板式半导体传感器相关论文
微加热板式半导体微气压传感器的测试
组建了一套用于半导体微气压传感器的测试系统。该系统主要由真空装置和信号采集系统两部分组成。该系统为半导体微气压传感器的研......
期刊
微加热板式半导体传感器
微气压
测试
semiconductor sensor based on micro-hotplate
micro air press
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