应力补偿工艺相关硕士博士期刊学术论文

为降低硅光电探测器ＰＮ结反向暗电流，可在器件制作工艺中采用一系列完美晶体器件工艺（ＰＣＤＴ）。在实验过程中，对吸除工艺，应力补偿工艺等作了改进......