容性耦合射频放电相关论文
利用两电子组模型,建立了用于离子激光器的窄电极间距中等气压下的容性耦合射频放电的自洽理论模型,研究了放电参量与射频电压之间......
为了提高容性耦合射频放电所产生的等离子体密度,在射频放电中利用空心电极结构替代平板电极,实验研究射频空心电极放电的等离子体......
为了对高电流下的容性耦合射频(CCRF)放电有清晰的了解,我们建立了CCRF放电的自洽模型,研究了CCRF放电的放电特性和从低电流向高电......
针对中等气压、中等功率下射频容性耦合(CCRF)等离子体的放电特性,采用基于流体模型的COMSOL软件仿真,建立一维等离子体放电模型,......
利用自行研制的传感器和测量装置,通过对射频放电电压电流以及其相位角的测定,算出放电管的总阻抗,结合放电管的等效电路,对容性耦......
由于气体放电在材料处理、热核聚变、环境净化以及等离子体推力器等各个前沿科学领域中具有广泛的应用。为了推动气体放电及等离子......
针对工业生产与军事应用上低气压、低温非热平衡等离子体的制备和实验诊断问题,采用COMSOL软件等离子体模块进行仿真模拟,建立容性......
