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MEMS(Micro Electro Mechanical Systems,微机电系统)是基于微电子加工技术,汇集了电子、机械、材料、制造、测量,以及物理、化学......
微通道由于有其特殊的结构因而能够应用在很多领域,如微通道板,微全分析系统,微型热传导器件以及微型化工设备等。近年来,由于硅微通道......
本文论述了基于多孔硅的三维PN结结构的形成及在核电池和X射线探测器中的应用,同时研究了此三维PN结结构的制备工艺,特别地讨论了......