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天线耦合强度相关论文
电负性气体射频感性耦合放电不稳定性研究
本课题组在过去开展了电正性气体(Ar)射频感性耦合放电模式转化及受迫振荡非线性研究,在此工作基础上,本实验研究电负性气体(SF6)......
学位
射频等离子体
感性耦合
电负性气体
天线耦合强度
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