多边形切分相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

多边形切分相关论文

集成电路制造过程中光刻系统仿真的多边形处理算法研究

在过去的五十多年间,微电子技术尤其是集成电路领域的高速发展对电路性能的要求日益增长。作为集成电路制造中的核心技术,光刻工艺......

学位

光刻模拟光学邻近校正多边形切分部分相干光点光强计算版图处理

用于光刻系统仿真的多边形处理算法

为提高光刻仿真效率，通过对光刻原理进行研究，提出了2种多边形处理算法，将掩模上的多边形图案进行切分优化，将其划分成若干矩形或三角......

期刊

传感器多边形切分光刻仿真光学邻近效应部分相干系数

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