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多级真空泵相关论文
多级真空干泵不同转子级的实验测试与性能研究
多级真空干泵具有清洁度高、集成度高等优点,可根据不同抽气性能需求进行不同转子的组合,被广泛应用于化工、薄膜制造及半导体相关......
学位
干泵
罗茨转子
CFD
设计制造
性能测试
多级真空泵
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