多晶金刚石薄膜相关论文
开关现象在一些片状和薄膜半导体样品中早巳观察到.但是,迄今为止,尚未见到有关金刚石薄膜开关特性的报道.鉴于金刚石薄膜有着许......
n-Si为衬底,用PECVD方法淀积了多晶金刚石薄膜,该薄膜具有很好的发射特性,在6V/μm的电场下,场发射电流为5μA。由薄膜场发射的实验曲线计算得到场发射......
该文报道金属--P型金刚石薄膜的肖特基势垒性能。在低阻Si单晶衬底上,用微波等离子体CVD法生长掺硼的多晶金刚石薄膜,用金属与P型金......
本文用微波等离子化学气相沉积系统(MPCVD)在单晶硅衬底上制备多晶金刚石薄膜,反应气体为CH4和H2。利用扫描电镜(SEM)和Raman光谱研究了......
Ohmic contact properties of p-type surface conductive layer on H-ter- minated diamond films prepared
与高免职率和大免职区域的优点,多晶的钻石电影由直接电流(DC ) 准备了喷气化学药品蒸汽免职(CVD ) 被考虑是为高周波、高力量的电......
以n-Si为衬底,用PECVD方法淀积了多晶金刚石薄膜.采用以金刚石薄膜为阴极的二极管结构测试了场发射特性,在6 V/μm的电场下,场发射......
对等离子增强化学气相淀积多晶金刚石薄膜在N离子注入前后的场发射特性进行研究。研究发现,同一工艺条件下的淀积的多晶金刚石薄膜样......
以化学气相沉积法成长多晶金刚石薄膜时,薄膜的品质会受到成长时间、成长压力、反应气体比例、偏压与否及成核的机制等因素影响。研......