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多层阳极键合相关论文
铝与玻璃的多层键合
铝与功能玻璃的阳极键合技术以其显著的特点:焊接温度低(低于材料的软化温度),工件变形小,工艺过程简单,使得由于热膨胀而带来的材料......
期刊
多层阳极键合
公共阳极法
离子扩散
阳极氧化
玻璃/铝多层阳极键合接头残余应力应变数值模拟研究
多层阳极键合技术已成为微机械电子系统(MEMS)封装器件的关键技术之一。而在键合后的冷却过程中键合件将会产生残余应力和变形,这直接......
学位
多层阳极键合
玻璃
铝
数值模拟
残余应力
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