垂直轴宏微复合相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

垂直轴宏微复合相关论文

垂直轴宏微复合二维运动平台及直线度误差补偿技术的研究

微纳技术的发展对精密定位平台提出了更高的要求,但即使是超精密机械,在生产过程中也不可避免的存在制造误差、安装误差等几何误差......

学位

垂直轴宏微复合二维运动双柔性平行六连杆前馈控制直线度误差补偿

基于激光干涉仪的垂直轴宏微复合平台直线度测量及误差分析

设计了一个垂直轴宏微复合平台,宏动台采用交叉滚柱导轨,直线电机驱动,微动台采用柔性铰链导向机构,压电陶瓷驱动,对微动台固有频......

期刊

垂直轴宏微复合直线度激光干涉仪误差动态位移

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