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含硅类金刚石(Si-DLC)膜相关论文
含硅类金刚石膜的力学性能研究
由于类金刚石(DLC)膜具有它独特的性质,例如:高硬度、低磨损、低摩擦、抗腐蚀性和较好的化学稳定性,在过去的二十年里,人们对它展开......
学位
含硅类金刚石(Si-DLC)膜
分子动力学(MD)模拟
硅
有限元
力学性能
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