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反应离子刻蚀法相关论文
二氧化硅埋层式光波导结构参数及工艺的设计
本文运用光波导理论中的有效折射率法.对二氧化硅埋层式光波导的结构参数进行了计算和设计。根据常规工艺中出现的一些问题,在工艺设......
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