双层氮化硅膜相关硕士博士期刊学术论文

以双层SiN 膜多晶硅太阳电池为研究对象，通过调整PECVD工艺参数制备不同折射率和厚度的双层氮化硅减反射膜太阳电池，并用玻璃、EVA和......

期刊

用Centrotherm管式PECVD设备,使用新型双层氮化硅膜沉积工艺,并对该工艺进行优化,使电池效率得到提升。......

期刊

双层氮化硅膜电池效率

氮化硅（SiNx:H）作为一种优良的介质膜,已经被广泛用在光伏器件上。在晶硅太阳能电池的研究中,发射结表面减反和钝化一直是研究的重要......

学位

PECVD 钝化减反射双层氮化硅膜

以双层Si Nx膜多晶硅太阳电池为研究对象,通过调整PECVD工艺参数制备不同折射率和厚度的双层氮化硅减反射膜太阳电池,并用玻璃、EV......

期刊