原位纳米压痕相关论文
21世纪以来,随着能源、信息、环境、生物技术以及国防工业的迅猛发展,对纳米薄膜科学领域的研究也不断深入。在微机电系统(MEMS)中......
纳米薄膜的光学、电学、磁学、超导等很多物理性能不同于传统的块体材料，这些与众不同的特性在现代工业领域有着极为重要的作用，而且......
提出一种用于原位纳米压痕测试的微小型精密加载装置。结合纳米压痕测试的基本要求,对精密加载装置进行了结构设计分析,建立了以压......
回 回 产卜爹仇贱回——回 日E回。”。回祖 一回“。回干 肉果幻中 N_。NH lP7-ewwe--一”＄ MN。W;- __._——————》 砧叫]们......
本文利用自主研发的扫描电子显微镜-扫描探针显微镜联合测试系统(SEM-SPM),研究了直流磁控溅射(DCMS)和原子层沉积(ALD)两种成膜方......
随着微电子技术向深纳米尺度迈进,场效应晶体管器件的特征尺寸—栅极长度在不断缩小,栅极氧化物介质层的厚度也相应减小,由此带来......
