压电单晶片相关论文
随着近年来科学技术的发展,航空航天、现代医学、光学工程、超精密加工等领域对运动定位精度的要求越来越高,伺服电机驱动、液压驱......
该文提出了一种双模式压电粘滑驱动器,通过一个中间固支的压电单晶片和柔性放大机构实现非谐振模式和谐振模式的结合,使驱动器达到......
