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卢瑟福弹性散射模型相关论文

电子束曝光模拟中电子弹性散射的新模型

传统的卢瑟福弹性散射模型不适用于描述电子和原子序数较高(Z＞4)的材料的弹性相互作用.给出一种模型,此模型采用Thomas-Fermi-Dirac......

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电子束曝光(EBL) 卢瑟福弹性散射模型 Thomas-Fermi-Dirac(TFD)势能相对论修正 electron-beam lithography(E

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