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动圈式磁悬浮工件台相关论文
动圈式磁悬浮工件台线圈阵列实时电流分配法则
在多自由度磁悬浮工件台运动控制中,多自由度动力学解耦是至关重要的。解耦多自由度动力学需要将工件台动台所受的力/矩分解到对应......
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动圈式磁悬浮工件台
力/矩分解
线圈阵列
实时电流分配法则
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数值稳定性
Magnetically levitated stage with moving
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