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基于单晶硅各向异性特征的纳米压痕过程有限元仿真研究
本文采用各向异性弹塑性材料本构关系,利用非线性有限元软件MSC.Marc建立了单晶硅纳米压痕过程的三维模型,分别用玻氏、维氏、圆锥......
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单晶硅
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加、卸载响应特性
微观力学性能
monocrystal silicon
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