共焦检测相关论文
针对空间三维粒度场分布，提出了采用准共焦光学检测法，即利用共焦光斑对样品池内进行逐点扫描，由此获取各点的散射光信息。对采集到的......
一、前言随着精密加工技术的进步,现在已能制造出1μm以下的亚微米级微型模板,这就需要在生产现场实时测量模板的尺寸。当被测模......
为了对微纳加工工件进行三维形貌测量,建立了基于数字微镜的并行激光共焦显微检测系统。首先,利用衍射光学对数字微镜的夫琅禾费衍......
单点式共焦显微镜由于扫描速度低，光能利用率不高逐渐被多点并行的扫描方式代替。现有的并行扫描方式同样存在一些缺点，限制了测量精......
研究了基于数字微镜器件（DMD）的多路并行共焦显微镜。利用DMD产生特定的图案对光源进行调制,形成多路并行共焦检测工作模式,其作用相......
随着微电子、微机械、微光学等技术的发展,对宏微复合结构样品的三维非接触精密测量技术的需求日益迫切,因此本文对具有光学层析能......
