光栅波像差相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

光栅波像差相关论文

全息曝光系统轴向调节误差对光栅衍射波像差的影响

光栅衍射波像差作为全息光栅重要的技术指标之一,直接影响光栅分辨率,其中曝光光学系统的调节误差是引起光栅衍射波像差的主要因素......

期刊

衍射叠栅条纹光栅波像差相对离焦

全息光栅曝光光学系统优化及光栅掩模参数控制方法研究

本论文作为“十一五”国家科技支撑计划重大项目的一部分，对平面全息光栅的曝光系统的使用、精确调整、光栅掩模槽形的工艺控制等技......

学位

空间滤波器刻线密度光栅波像差曝光量非线性效应

看过本文同时还关注