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光栅位移测量技术因具备精度高、稳定性好、体积小、灵活性强、成本低等诸多优点,在超精密测量方面具有重要价值,尤其是在超精密加......
提出一种光栅式位移测量新方法,利用单个普通低线数计量光栅,实现高分辨率、大量程的位移测量.给出测量光路图,分析测量原理,最后......
本干涉仪采用偏振测量和偏振接收装置.本文对干涉仪光路中激光的偏振态转换进行了详细的理论分析,对偏振干涉仪以及双频干涉仪的研......
为了提高自准直仪的分辨力，将纵向莫尔条纹引入到光路中，用长光栅代替传统单狭缝，将长光栅成像在CCD检测器上，CCD作为标尺光栅，通过两个......
为了提高激光自混合干涉仪在大量程运动距离测量中实时测量的分辨率,采用光学细分与电子细分相结合的方法,大幅减轻了在条纹计数法......
