激光等离子体极紫外光源在极紫外光刻、生物成像、软X射线光谱学以及水窗成像等方面都起着至关重要的作用。相比于其它方式产生的......

开展结构Sn靶激光等离子体极紫外光辐射特性研究,对波长为1064 nm的脉冲激光等离子体产生的极紫外光谱进行研究。实验结果表明,当......

自1986年极紫外光刻技术(Extreme ultraviolet lithography,EUVL)被提出,极紫外光刻光源的研发一直是实验室和半导体制造工业界的......

准分子激光光刻是提高大规模集成电路(VLSI)集成度的核心技术，准分子激光器作为光刻光源要满足量产需要具备高重复频率、高能量稳定......

紫外LED光刻光源具有价格低廉、体积小、能耗低、寿命长、环保等诸多优点,因而近年来受到国内外学者的广泛关注。本文简要分析光刻......