偏滤器脱离相关硕士博士期刊学术论文

在ＡＳＤＥＸ中高功率Ｈ模式放电期间，反馈控制的喷氖和氘已用于控制边缘定域模行为和靶板功率沉积。已发现，９０％以上的加热功率是通过辐射损失的，并发......