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偏振激光散射相关论文
研磨石英玻璃亚表面损伤的偏振激光共聚焦检测方法研究
石英玻璃凭借强度高、耐磨性好、热膨胀系数低等优异的物理性能,在高能激光器、特种光源、半导体等行业应用十分广泛。石英玻璃在......
学位
石英玻璃
亚表面损伤
偏振激光散射
共聚焦成像
无损检测
硅片磨削亚表面损伤的偏振激光散射检测研究
单晶硅是半导体产业的主要衬底材料,广泛应用于集成电路、光伏电池等产业中,是支撑当今半导体产业乃至社会技术发展的基础材料。单......
学位
单晶硅
磨削
亚表面损伤
偏振激光散射
退偏机理
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