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背面通孔工艺对砷化镓滤波器性能的影响
滤波器作为微波系统中的无源器件,在现代电子通信中具有非常重要的应用。采用砷化镓无源器件集成工艺制作了滤波器,在制作工艺中重......
期刊
砷化镓
滤波器
背面通孔
侧向蚀刻
GaAs
filter
backside via-hole
sidewall etching
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