体声波硅谐振器相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

体声波硅谐振器相关论文

一种MEMS体声波硅谐振器的设计

设计了一种基于SOI衬底工艺的MEMS体声波硅谐振器及其制造方法。利用有限元分析软件对该谐振器进行了模态分析,并针对提高品质因数......

期刊

MEMS 体声波硅谐振器有限元分析传输线品质因数支撑损耗 MEMS silicon bulk acoustic wave resonator FEA

电容式微机械体声波硅谐振器的研制

本论文设计了一种电容式微机械(MEMS)体声波硅谐振器。分析了此谐振器的工作原理,并建立了其动力学模型和等效电路模型。利用ANSYS......

学位

MEMS 体声波硅谐振器有限元分析品质因数工艺制造电学测试

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