低介电常数薄膜相关论文
研究了具有甲基末端和碳桥结构的多孔有机硅酸盐玻璃(OSG)薄膜的化学组成、孔结构和力学性能.对薄膜进行不同的固化处理,形成稳定......
随着科技的不断进步,人类已经步入信息时代,微电子器件已经应用到人类生活的各个方面。但是科技的发展同时也带来了新问题,由于微......
用ＰＥＣＶＤ淀积了低介电常数的掺氟氧化硅介质薄膜，ＳｉＦ４的流量达到６０ｓｃｃｍ时，薄膜的相对介电常数可以降低到３．２。对试样的ＦＴＩＲ分析表明，薄膜中大部分的氟以Ｓｉ－Ｆ键形式......
利用脉冲激光激发超声表面波测量低介电常数介质薄膜杨氏模量时（LSAWs实验），必须对实验信号进行有效处理来拟合出表面波在待测样品表......
用 PECVD淀积了低介电常数的掺氟氧化硅介质薄膜 ,Si F4 的流量达到 60 sccm时 ,薄膜的相对介电常数可以降低到 3.2。对试样的 FTI......
