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三自由度测量相关论文
基于计算全息的无衍射光莫尔条纹三自由度测量方法研究
针对工作台运动误差,提出了一种基于计算全息的无衍射光莫尔条纹三自由度测量方法。通过液晶空间光调制器(SLM)生成无衍射光,利用......
期刊
三自由度测量
无衍射光
莫尔条纹
液晶空间光调制器
3-DOF measurementnon-diffracting beamMoiré fringe
基于无衍射光莫尔条纹的工作台三自由度测量方法研究
大行程精密工作台在科学研究和工业生产领域内占有极其重要的地位,工作台在加工过程中的运动误差直接影响零件的加工精度。为此,本......
学位
三自由度测量
无衍射光
莫尔条纹
液晶空间光调制器
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