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三维映像测量相关论文
基于原子力显微镜(AFM)的纳米硬度测试技术
本文基于原子力显微镜结合三维微动工作台以及金刚石针尖建立测试系统并编制控制软件,对几种薄膜材料进行纳米压痕硬度的测试研究.......
学位
三维映像测量
原子力显微镜
纳米硬度
纳米压痕
薄膜材料
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