用Ｉｎ２Ｏ３作敏感膜研制小型固态高感度（ｓｅｎｓｉｂｉｌｉｔｙ）（１０×１０＾－９～１×１０＾－６）Ｏ３传感器，研究了膜厚，气体湿度和工作温度等对传感器敏感特性的影响，发现ＡＥＴ（ＡｄｓｏｒｐｔｉｏｎＥｆｆｅｃｔＴｒａｎｓｉｓｔｏｒ）型Ｏ３传感器具有灵敏的......