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[会议论文] 作者：邓婉婷,吴爱民,张广英,秦富文,董闯,姜辛,
来源：中国核学会核材料分会2007年度学术交流会 年份：2007
采用电子回旋共振等离子增强化学气相沉积(ECR-PECVD)方法，以SiH4和H2为气源，在普通玻璃衬底上沉积多晶硅薄膜。利用XRD、Raman光谱和TEM研究了衬底温度、氢气流量和微波功率对多晶硅薄膜的影响。通过分析薄膜的结构和形貌，得出适宜低温沉积多晶硅薄膜的工艺参数。......
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