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[会议论文] 作者：朱嘉琦,姜春竹,贾振宇,
来源：2011中国功能材料科技与产业高层论坛 年份：2011
本文用磁控共溅射方法制备了无氢非晶碳化锗薄膜。用拉曼光谱(Kaman)、傅里叶变换红外透射光谱( FTIR)和X射线光电子谱(XPS)等方法研究了锗功率对碳化锗薄膜的结构和化学键性质的影响。为了深入理解锗功率对磁控共溅射制备的无氢非晶碳化锗薄膜的化学键性质的影......
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