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[会议论文] 作者：蔡丽,谭跃刚,刘明尧,李天梁,
来源：2013先进智能制造技术发展研讨会 年份：2013
作为生产线薄膜厚度控制的重要依据,薄膜厚度在线检测是薄膜生产技术中非常重要的一个方面.本文针对当前薄膜生产线的厚度控制系统,提出了一种基于电容传感器的薄膜厚度在线...
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