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[会议论文] 作者：方国家,李颂战,樊细,郑巧,程飞,万家炜,秦平力,王皓宁,柳玉萍,
来源：第十三届全国固体薄膜学术会议 年份：2012
采用磁控溅射技术制备了AZO(ZnO：Al)、ITAZO(InSnZnAl 氧化物)薄膜以代替ITO 透明导电玻璃.制备了系列NiO、CrOX、MoO3 无机氧化物p 型薄膜材料，以代替昂贵的空穴传输层PEDOT：PSS进口材料.实现了常温化制备ITAZO透明导电膜和p-NiO 薄膜，这为大面积、低成本柔性太阳......
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