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[会议论文] 作者：查良镇,
来源：中国真空学会科学技术研讨会暨真空高新技术报告会 年份：1996
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[会议论文] 作者：桂东,查良镇,
来源：1998二次离子质谱学国际研讨会暨第二届全国二次离子质谱学会议 年份：1998
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[会议论文] 作者：查良镇,桂东,
来源：中国真空学会第五届学术会议 年份：1998
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[会议论文] 作者：查良镇,桂东,
来源：1998二次离子质谱学国际研讨会暨第二届全国二次离子质谱学会议 年份：1998
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[会议论文] 作者：陈旭,查良镇,
来源：中国真空学会质谱与检漏专委会第十二届年会暨中国计量测试学会真空校准专委会第七届年会 年份：2004
作者根据已了解的国内外真空计量、质谱和检漏领域的新进展，结合参加两个相关国际会议与对欧美的访问作简要综述。...
[会议论文] 作者：查良镇,陈旭,
来源：中国真空学会第五届学术会议 年份：1998
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[会议论文] 作者：查良镇,邹庆生,
来源：第一届全国二次离子质谱学会议 年份：1993
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[会议论文] 作者：陈旭,查良镇,M.Baril,
来源：1998二次离子质谱学国际研讨会暨第二届全国二次离子质谱学会议 年份：1998
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[会议论文] 作者：姜志雄,查良镇,
来源：第一届全国二次离子质谱学会议 年份：1993
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[会议论文] 作者：陈玉鑫,陈旭,查良镇,
来源：中国真空学会质谱与检漏专委会第十一届年会.中国计量测试学会真空校准专委会市第六届年会 年份：2002
本文建立了气溶胶吸附气体检测装置,利用程序升温手段和四极质谱计对气溶胶样品颗粒表面的吸附气体进行分析,得到初步结果....
[会议论文] 作者：陈旭,查良镇,刘容,M.Baril,D.Michaud,
来源：1998二次离子质谱学国际研讨会暨第二届全国二次离子质谱学会议 年份：1998
概要地介绍了气溶胶标准样品的制备及二次离子质谱的定量分析结果，并与ＩＣＰ－ＡＥＳ分析结对比。ＳＩＭＳ分析结果与标样制备含量相对误差小于２０℅。...
[会议论文] 作者：卢耀文,陈旭,齐京,查良镇,
来源：第十二届国际真空冶金与表面工程学术会议(ICVMSE2015) 年份：2015
高真空、超高真空的获得和维持在科研生产中得到广泛应用，尤其在微型真空MEMS 器件生产制造中，真空获得及维持是决定产品质量的重要因素。对于一个真空腔体，其真空度的获得......
[会议论文] 作者：陈旭,张启亮,杨丰,查良镇,
来源：中国真空学会质谱与检漏专委会第十届年会中国计量测试学会真空校准专委会第五届年会 年份：2001
采用差压式电容薄膜规定容法,通过测量压强差的变化减小环境温度波动的影响,实现了正压漏孔校准.该套装置校准范围为1×10～3×10Pa·m/s,不确定度相应为5℅～15℅(置信度95℅),...
[会议论文] 作者：卢耀文,陈旭,查良镇,齐京,
来源：第十二届国际真空冶金与表面工程学术会议(ICVMSE2015) 年份：2015
高真空、超高真空的获得和维持在科研生产中得到广泛应用，尤其在微型真空MEMS 器件生产制造中，真空获得及维持是决定产品质量的重要因素。对于一个真空腔体，其真空度的获得......
[会议论文] 作者：黄天斌;陈旭;金奇计;曾鹏;查良镇;,
来源：中国真空学会质谱与检漏专委会第十二届年会暨中国计量测试学会真空校准专委会第七届年会 年份：2004
本论文介绍了在辉光放电清洗的研究过程中,应用质谱技术进行样品分析的过程和对真空性能进行测试的一系列实验结果,并应用其结果对射频辉光放电清洗的效果进行评估.实验...
[会议论文] 作者：肖立波,陈旭,陈聘,金奇计,查良镇,
来源：中国真空学会质谱与检漏专委会第十二届年会暨中国计量测试学会真空校准专委会第七届年会 年份：2004
本文结合国内外超灵敏度检漏技术的发展现状,研制了一套超灵敏度检漏系统.实验表明,该装置能稳定提供10-14Pa.m3/s的氦流量,可解决超灵敏度检漏实时校准的难题....
[会议论文] 作者：陈旭,金奇计,朱秀珍,查良镇,李广会,
来源：1998年中国硅酸盐学会电子玻璃分会年会暨学术交流会 年份：1998
超高真空-质谱法(UHV-MS)是目前的主要发展趋势，是当前玻璃气泡分析最优选的方案。文中采用该方案实现全金属超高真空系统结构，保证了仪器的高性能。静态分析检测限达到8X10-6...
[会议论文] 作者：查良镇,金奇计,陈旭,朱秀珍,李广会,
来源：1998年中国硅酸盐学会电子玻璃分会年会暨学术交流会 年份：1998
超高真空-质谱法(UHV-MS)是目前的主要发展趋势，是当前玻璃气泡分析最优选的方案。文中采用该方案实现全金属超高真空系统结构，保证了仪器的高性能。静态分析检测限达到8X10-6 ul*atm(STP)，相当于直径0.04mm气泡的含气量。一次实验可分析16个样品，适于提供批量数据......
[会议论文] 作者：卢耀文,陈旭,李得天,齐京,查良镇,
来源：中国真空学会2012学术交流会 年份：2012
为了解决许多应用领域对真空计的校准需求,研制出便携式真空校准装置.采用直径为200mm的球形容器作为校准室,用两台不同量程的电容薄膜规作为参考标准,将静态比对法、静态膨胀法及动态流导法集成在一台装置上,实现1×105～4×10-6Pa范围对真空计的校准.静态比对法......
[会议论文] 作者：卢耀文,李得天,陈旭,刘波,齐京,查良镇,
来源：2013年广东省真空学会学术年会 年份：2013
为了解决漏率小于10-12Pam3/s漏孔的校准问题,提出累积法与固定流导法相结合的方法,研制出下限可达10-14Pam3/s量级的校准装置.装置主要由累积比较系统和固定流导法流量计组...
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