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[会议论文] 作者:冯庆祥, 来源:中国金属学会力学试验数据统计分析学术会议 年份:1987
[会议论文] 作者:孙福楠,吴江红,冯庆祥, 来源:中国化工学会特种化工专业委员会成立大会暨第一届特种化工材料技术交流会 年份:2009
分析了我国以往电子气体的现状,介绍目前国外发达国家电子气体研发的具体做法,对未来我国电子气体的发展提出新的想法。...
[会议论文] 作者:孙福楠,吴江红,柳蔚,李应辉,冯庆祥, 来源:全国特种气体第十二次年会 年份:2008
在半导体制造过程中,需要使用大量有毒性气体,如SiH4、B2H6、Si2H6.GeH4、PH3、CH3Br、H2S、H2Se、AsH3等。这些气体易燃、易爆、有毒对人身及环境有相当的危害,为了确保产IC等...
[会议论文] 作者:孙福楠,吴江红,柳蔚,李英辉,冯庆祥, 来源:全国特种气体第十二次年会 年份:2008
回顾我国气体20多年所走的道路,通过分析同国外气体发展的差别,强调气体基础研究的重要意义,对我国特种气体由量的满足到质的飞跃充满信心....
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