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[学位论文] 作者：袁渊明,,
来源： 年份：2011
磁控溅射技术又被称为低温溅射技术,这是常用的薄膜制备方法之一,同热蒸发技术相比,磁控溅射技术镀制的膜层致密性、均匀性好,膜层与基体材料结合力强以及镀制薄膜的膜层成份...
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