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[学位论文] 作者:卢振钧,, 来源: 年份:2002
本论文研究了ULSI中铜互连的可靠性问题。在铜互连可靠性的几个主要问题中,重点针对互连中的电迁徙和应力迁徙进行了探讨。通过电徙动试验,研究比较了不同宽度的铜互连线的抗电......
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