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[期刊论文] 作者:曹政才,邓积杰,刘民,王永吉, 来源:中国化学工程学报:英文版 年份:2012
生产的半导体(SM ) 系统是包含的最复杂的混合进程之一连续地可变的动态系统和分离事件动态系统。优化并且半导体制造安排长是在自动化的一个热研究方向。瓶颈是到一个 SM 系...
[期刊论文] 作者:曹政才,邓积杰,刘民,王永吉,, 来源:Chinese Journal of Chemical Engineering 年份:2012
Semiconductor manufacturing (SM) system is one of the most complicated hybrid processes involved continuously variable dynamical systems and discrete event dyna...
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