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[期刊论文] 作者:薛春荣, 易葵, 齐红基, 范正修, 邵建达,, 来源:中国激光 年份:2009
为了进一步明确氟化薄膜材料在深紫外-紫外波段(DUV-UV)的光学常数,研究了深紫外-紫外波段常用的6种大带隙的氟化物薄膜材料,分别在熔石英(JGS1)基底和氟化镁单晶基底上用热舟蒸......
[期刊论文] 作者:薛春荣, 易葵, 齐红基, 邵建达, 范正修,, 来源:物理学报 年份:2009
研究了紫外领域常用的6种大带隙的氟化物薄膜材料,在氟化镁单晶基底上用热舟蒸发镀制了三种高折射率材料薄膜LaF3,NdF3,GdF3和三种低折射率材料薄膜MgF2,AlF3,Na3AlF6;用商用...
[期刊论文] 作者:肖秀娣,董国平,贺洪波,齐红基,范正修,邵建达, 来源:ChineseOpticsLetters 年份:2009
Tantalum pentoxide thin films are prepared by oblique angle electron beam evaporation. The influence of flux angle on the surface morphology and microstructure is investigated by scanning electron microscopy (SEM). The Ta...
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