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[学位论文] 作者：黄开明,
来源：苏州大学 年份：2023
惯性粘滑驱动技术可以应用于毫米级运动行程纳米级定位精度的跨尺度精密运动平台中,在微纳操作、自适应显微镜扫描和半导体加工等领域有了很多的应用。但是目前在驱动信号方面主要有锯齿波、基于幂函数的优化波形等,这些驱动信号都非对称且具有阶跃特性,这就增......
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