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[会议论文] 作者：陈明琪,
来源：1998年全国半导体硅材料学术会议 年份：1998
该文综合性地介绍了现有常见硅外延炉的性能、特点、生产能力等，同时还 国外大直径硅片外延炉的一些新进展。...
[期刊论文] 作者：陈明琪,
来源：半导体技术 年份：1990
一、引言 巨型晶体管GTR模块是新一代电力电子器件,它对节能节材有着重要意义,因此它的发展正在越来越引起人们的重视。上海冶金所与上海整流器总厂联合研制成功了50A/600V...
[期刊论文] 作者：陈明琪,王志成,
来源：浙江消防 年份：1998
6月18日早上5点半左右,舟山希望海产品有限责任公司氨机房突然发生氨气泄漏,氨气四处弥漫,情况十分危急。消防大队接到报警后,正在晨练的消防官兵迅速赶到现场,并立即组织人...
[期刊论文] 作者：王志成,陈明琪,
来源：浙江消防 年份：1998
去年12月11日凌晨3点20分,急促的警铃催醒了岱山县消防大队官兵:三叶码头两艘货船发生火灾,船上有大量的贵重物品。消防大队接到报警后,立即出动两辆消防车赶赴火灾地点。L...
[会议论文] 作者：陈明琪,余苏宁,朱俊卿,
来源：中国电工技术学会电力电子学会第四次全国学术会议 年份：1990
...
[期刊论文] 作者：陈明琪,杨传铮,王广福,
来源：半导体学报 年份：1982
介绍了向{100}和向最近的{110}偏离2～4°的赝(111)晶片外延图形微畸变的研究结果.当参考面为(100)时,图形平行于参考边[112]安排,若晶片向(110)或(001)偏离2～4°,则垂直于参考...
[期刊论文] 作者：谢明纲,何德湛,陈明琪,吴佛春,
来源：微电子学与计算机 年份：1987
本文报导的U 型槽隔离技术,是采用反应离子刻蚀形成U 型槽,然后用多晶硅填槽,其多晶硅是用3—5%的SiH(?)与超纯氢的混合物在600-650℃下热分解生成的,典型生长速率为300-500(...
[期刊论文] 作者：何德湛,谢明纲,陈明琪,吴佛春,
来源：半导体技术 年份：1988
彩电集成电路(彩电IC)是彩电重要元件,但目前这种元件不少是进口的,因此彩电IC国产化是一项重要的工作.制造彩电IC中的外延工艺需高纯H_2,我们将本所贮氢瓶的超纯氢,用于外延...
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