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[期刊论文] 作者：侯溪,张帅,胡小川,全海洋,吴高峰,贾辛,何一苇,陈强,伍凡,
来源：光电工程 年份：2020
深紫外、极紫外光刻、先进光源等现代光学工程牵引驱动超精密光学技术持续发展,超精密光学制造要求与之精度相匹配的超高精度检测技术。作为核心技术指标之一的面形精度通常...
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