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[会议论文] 作者：莫绍孟;赵建军;吴光敏;陈剑鸣;,
来源：2008年全国声学学术会议 年份：2008
近年来，迅速发展扩大的现代无线通信市场呼唤着一种新兴的技术和器件，来满足RF系统更微型化，低功耗，高Q值，工作在1GHz至10GHz的性能需求。FBAR(Film Bulk Acoustic Resonator)具备...
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