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[期刊论文] 作者:甘俊红,陈先梅,严枫,吴刚,邹九贵,, 来源:计测技术 年份:2011
采用可编程多轴运动控制卡实现对细分多齿分度台的自动控制,通过在细分机构中加入光栅作为位置反馈,提高了细分角度的准确度,从而提高了仪器的整体准确度。...
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